- ベストアンサー
分光エリプソメータについて
分光エリプソメータについて 回転検光子法を用いたエリプソメータでは、計測した位相差、振幅比から解析的にS偏光、P偏光のそれぞれの強度は求まるのでしょうか。 楕円率や方位角が求まるのは分かるのですが、強度が計測ではなく、解析的に求まるのかが知りたいです。 よろしくお願いします。
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
Psi, Deltaから強度を出すことは出来ませんが、回転検光子型エリプソメーター でPsi,Deltaを出す過程において、測定している量から絶対強度I0をもとめることは できるはずです。 回転検光子型エリプソメーターにおけるPsi, Deltaの決定過程が下記文献 であるとすると、実際のフーリエ係数にはアルファ、ベータにI0が乗じられている はずです。 http://www.ccn.yamanashi.ac.jp/~kondoh/manual-ellips.html
