分光エリプソメータについて

質問

現在，研究に用いている分光エリプソメータの測定原理について勉強しています．
私が使用しているのは回転検光子型なのですが，
この回転検光子がどういった役割を果たしているのかが理解できません．
どなたかご教授いただけると幸いです．

回答No.1

astra0641 · ベストアンサー

回転検光子型のエリプソメ装置では、試料に直線偏光を入れて、試料によって、楕円偏光になった後の楕円偏光の軸（一番強度が強い角度）と、楕円率（軸とそれに垂直な方向の光強度）を測定します。
回転検光子の役割は、単純で、検光子を回転しながら光強度を測定し、一番強度の高かった角度（1周で2回あるはず）から楕円の軸方向を、その時の光強度と、90度離れた時の光強度の比から楕円率を求めています。
詳しくは
丸善から出ている「分光エリプソメトリー」をご覧下さい。

お礼

楕円偏光の軸と楕円率を測定している，という
基本的なことを知りませんでした．
お恥ずかしい限りです．
もう一度基本的な部分から勉強したいと思います．
ご回答ありがとうございました．