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2体衝突近似について
イオンをターゲットに注入する、イオン注入(インプラ)のシミュレーションを行おうと考えています。市販のソフトで有名なものは、“TRIM”や“SRIM”、また最近では“SASAMAL”というものがあると聞いています。この中で用いられている手法は「2体衝突近似」と呼ばれるモンテカルロ法の一種らしいですけど、どなたかこれに関する詳しい書籍・論文等ご存知の方はおりますでしょうか? また、“TRIM”のソースコードは公開されていると聞いたのですが、ネット上で手に入るものなのでしょうか? 宜しくお願いいたします。
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- edgeplasma
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- uhyohyohyo
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お礼
情報、どうもありがとうございました。 早速サイトに行きまして、“SRIM”をダウンロードしてみたのですが、日本語版のWindowsでは使えないみたいです。。。 ですが、文献検索等は楽になりました。 ありがとうございます。