クローズドドリフトイオン源(？)について

質問

クローズドドリフトイオン源(？)について

DLC圧電素子についての論文を読んでいるのですが、
「closed drift ion source」というものが出てきて困っております。
日本語に直すと「クローズドドリフトイオン源」(薄膜堆積の装置？)のようなのですが、
自分なりに探してみた書籍、及びインターネット上にも関連する情報が無く困っております。

もしご存知の方おりましたら、定性的な事で結構なので、ご教授頂けると幸いです。
または、関連するWEBサイトが有りましたら、そちらを紹介して頂けるだけでも有り難いです。

宜しくお願い致します。

回答No.1

gamma_46 · ベストアンサー

検索したら、
The closed-drift ion source is one type of gridless ion source and is described by Zhurin, et al., in an article in Plasma Sources Science & Technology, Vol. 8, Rl. doi: 10.1088/0963-0252/8/1/021　とありました。論文は購入できます。
特許広報も多数見つかるので、見当がつくのでは。
高密度イオン源むいていそうなので、ロケットや堆積装置に向いているのでしょうかね。

お礼

回答有難う御座いました。
そして、お返事が送れて申し訳有りませんでした。

頂いた情報は是非参考にさせて頂きます。