膜厚について

質問

基本的に膜厚が大きいということのメリットは何なんでしょうか？
実験をする際に、性質が安定することより、より正確なデータを得ることが可能なのでしょうか？
同じ膜厚でも製膜時間の違いで膜の質が違ってくるのでしょうか？

突然の質問で申し訳ございません。
当方、アモルファスシリコン薄膜を作っており、
通常作成した膜厚は３００ｎｍ～２μｍぐらいです。

ちょうど１μｍの膜厚を製膜を考えています。
製膜時間をできるだけ短く抑えたいのですが、
膜の質が悪くならないか懸念しています。

また、短い製膜時間で膜厚の大きいものを作るということは、膜が剥がれたりしないのでしょうか？

どうぞよろしくお願いいたします。

回答No.2

boo000 · ベストアンサー

＞基本的に膜厚が大きいということのメリットは何なんでしょうか？
前の方のおっしゃる通りです。

＞同じ膜厚でも製膜時間の違いで膜の質が違ってくるのでしょうか？
製膜時間が短いということは、製膜レートが早いということです。
レートが早いということは、それだけ粗く製膜されます。
粗く製膜されれば、欠陥等も増え、基板との密着性も悪くなり、膜剥がれも起きやすくなると思います。

お礼

ありがとうございました。

回答No.1

walkingdic

>基本的に膜厚が大きいということのメリットは何なんでしょうか？
用途によって単純に膜厚が厚い方が良い場合もあれば、適正値が存在する場合もありますので一概にいえません。

>同じ膜厚でも製膜時間の違いで膜の質が違ってくるのでしょうか？
製膜時間が異なるということはプロセス条件が違うわけだから、膜の質が異なる可能性は十分あります。

>短い製膜時間で膜厚の大きいものを作るということは、膜が剥がれたりしないのでしょうか？
一概にそうとはいえませんが、先の話と同じでそういうことも起こりえます。

お礼

ありがとうございました。