モノメチルシランって

質問

現在、プラズマＣＶＤ法により、
モノシラン１００％で水素化アモルファスシリコンを製膜しています。
これをモノメチルシラン１００％にすると、どういったものができるのでしょうか？
水素化アモルファスシリコンができるのでしょうか？
また、モノメチルシランとモノシランの違いについてもどなたかレクチャーよろしくお願いします。

回答No.1

TEOS · ベストアンサー

こんな質問する人　居るのですね。
私もシラン系材料使ってるけど、　ＣＶＤは全くしたことが無いです
ただ　モノシランよりモノメチルシランの方が自然発火性が低いので
安全に取り扱う事が出来ると思います。
モノメチルシランでＣＶＤで膜を作るとＳｉ－Ｃの製膜が出来ますよね
？？　（Ｓｉ－Ｈもできてる）
ＣＶＤの条件も異なるから　文献を見直さないと出来ないのでは？
私もシラン系材料を精製する際に　モノシランが発生するから
水中で窒素パージして　燃やしてますね。
あなたも　火を噴かないように　ご注意を！！
くだらないことかいてゴメンネ。

自分で文献調べた方が　良いヒントが見つかると思います。
さすがに此処では　シラン系材料の専門は居ないと思います。

お礼

ありがとうございました。