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実験室のX線?大型放射光施設?

シリコン基板上の非晶質シリカ薄膜(膜厚100nm程度)の 動径分布関数を測定しようと考えています。 おそらく微小角入射X線散乱で測定するのだと思うのですが、 この測定は実験室のCuKαのX線で測定可能でしょうか? それともSpring-8のような大型放射光施設でなければ 不可能でしょうか? 時間がかかるが実験室で可能という話であれば、 実験室で済ませてしまいたいのですが‥‥。 また、このような測定に関して何かアドバイスがあれば 是非ご教授願いたいです。 ・測定の困難性 ・大型放射光施設のマシンタイムの取り方など 以上、宜しくお願い致します。

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noname#21649
noname#21649
回答No.1

何年か前に東京都青山大学の日化の春季年会でどなたかが後援していたかと思いますが. 内容までは私では理解できませんでした。 注意点として.高価なシンチレーションカウンター(名称疑問)が壊れることがあるのでカウンターを保護することに重点をおいてください。

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