金属のスパッタリング（スパッタレート）が知りたいのですが。

質問

約－５ｋＶ程度の放電で使用し、マイナスイオンを発生する電極に使用する材料として、金や純チタンやリン青銅などを考えています。
放電での劣化を考慮したく、スパッタレートが目安になるのではないかと考えますが、金属ごとのスパッタレートがまったくわかりません。
教えていただけるかたはおられないでしょうか？

回答No.1

sanori · ベストアンサー

こんばんは。

ひとえにスパッタ率と言えども、
たとえ一つの材料であっても、入射するイオンの種類、エネルギー、角度等々で変わりますし、
自分（自社）にとって必要なデータは、自分で採取するものです。

ただで得られる情報は少ないでしょうね。
学会誌を調べるのが、真っ当な調査方法だと思います。

とりあえず、見つけたサイトは、これです。
http://www.psinc.co.jp/products/sasamal/index.html

こちらでは、シミュレーションツールをダウンロードできるようです。
（私は試していませんが。）
http://www.geocities.com/karolewski/kalypso.htm

以上、ご参考になりましたら。