アルゴンスパッタのスパッタレートに関して

質問

SEM観察用サンプルの前処理としてCP（クロスセクションポリッシャ）を使用しているのですが、無機物（主に金属）をやるときよりも有機物をやるときのほうがスパッタされる速度が遅いのはなぜなのでしょうか？

有機物の方が柔らかいので、スパッタレートも早いと思っていたのですが、現実は逆でして・・・。教えてください。

回答No.1

leo-ultra

スパッタはArイオンと試料を構成する原子との多重散乱で起こります。

Arイオンが試料中に打ち込まれ、別の原子をある方向へ弾き飛ばし、
その原子が別の原子を弾き飛ばし．．．、それでたまたま、試料表面から外へ弾き飛ばされた原子がスパッタされるわけです。

有機物は構成元素が軽めですし、密度も低めなので、Arイオンは奥の方へうちこまれます。深い部分で原子を弾き飛ばしますが、深いためになかなか表面まで弾き飛ばされる原子が少ないので、スパッタ率が小さくなります。