分光エリプソメトリーに関する和書

質問

分光エリプソメトリーの測定原理，および薄膜の n や k の波長分散を求めるための解析について，詳しく書かれた和書をご存知の方がいらっしゃいましたら，是非教えてください。どうか，よろしくお願いいたします。

回答No.1

noname#11476 · ベストアンサー

私が自分で装置とプログラムを組んだのは５年以上前のことなので、最近の状況ではありませんが。
数年前は、適当な和書は無かったと記憶しています。
和文の文献、解説記事は幾つかあったと思います。残念ながらもう破棄してしまったので、お教えすることが出来ませんが、JICSTなどで文献を検索すれば出てくると思います。
あとは、洋書でエリプソメトリー関係の本はあったと記憶しています。が、分光エリプソメトリーの記述があるかどうか間では定かではありません。
（結局私は入手しなかったので）

Ellipsometry, Spectroscopic Ellipsometry で海外のサイトを検索すると、文献が紹介されているサイトなどもありますよ。

未知数の多い複雑な系になると、多入射角分光エリプソメトリでないとうまく解が見つからないという問題もあったと記憶しています。

参考URL：

http://ellipse.kyunghee.ac.kr/

お礼

ご回答，大変ありがとうございました。
ご助言の通り，和雑誌の文献や解説記事をあたってみます。