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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：蒸着前の基板の洗浄方法）
ガラス基板の洗浄方法とは？アルミ蒸着の前処理に注目！
このQ&Aのポイント
- ガラス基板にアルミを蒸着しフォトレジストを塗布し、現像、エッチングを行うためには、蒸着前の基板の洗浄が重要です。
- アルミの膜が剥れてしまう原因は、蒸着前の基板の洗浄不足が考えられます。
- アセトン、エタノール、純水(超音波洗浄)を使用して洗浄することが一般的ですが、適切な洗浄方法を選ぶことが重要です。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
ガラス基板に対する純水(超音波洗浄)洗浄は、一般的な方法ですが 超音波洗浄については、誤解や誤った情報が多いように思います 適正な超音波（周波数や出力 等）を有効に利用すると十分に洗浄が行えます
