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スパッタリング前のガラス洗浄について
- ガラスの洗浄についてご教授ください
- ガラス洗浄の方法や洗剤の選定についてアドバイスをいただきたいです
- ガラス成膜後に発生する水シミや剥がれの原因と対策について教えてください
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>強アルカリ性洗浄剤にてブラシ洗浄 洗浄剤がガラス基材を攻撃している可能性はありませんか？ あと単なる印象ですが、ブラシ掛け過ぎだと思います。ブラシがガラスに傷を入れている可能性も考慮されては如何でしょうか？ ブラシ傷は特徴的なので、シミや剥がれの分布と一致しなければ検証の必要はないかもしれませんが。
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zibzib様 ご回答ありがとうございます。 洗浄剤は、メーカー側からガラス基材専用であるとの推奨をうけたものを使用しておりますがもう一度、問い合わせをいれてみようと思います。 また、ブラシにつきましても時間や硬度、線径も検討してみます。 以前、スポンジ素材での洗浄でも同じような現象が発生したためキズの発生は薄いかもしれませんが元々ある微細キズ内の洗浄については見直す必要があるかもしれません。
＞・IPAにてブラシ洗浄リンス×3（リンス曹は、分けてあります。） ・エアーブロー後、温風乾燥 ここで、薄められてはいるがＩＰＡに溶けた油分などの再付着が起きているのでは。シミはその両方で起きることが多いと思います。 http://www.speedfam-clean.jp/tech/ ＩＰＡ蒸気乾燥（洗浄） ＩＰＡはちょっと怖くてフロン系を使うのが多い スピン乾燥、エアナイフで液を吹き飛ばせば、再付着の量は減るでしょう。しかしそれにはIPAはやばい。 かといってIPAに代わるフロンも問題あるのは先刻ご承知かと。 装置は急には無理ながら、とりあえず相談し実地評価をやるべきです。そしてこのレベルのものならＯＫと確認し、さて費用をどうするか、、、それは経営者の判断事項。
補足
岩魚内様 ご回答ありがとうございます。 確かにIPAでの再付着は、考えられるかもしれません。 現在、早期での蒸気乾燥設備の導入は難しいのが現状です。 蒸気乾燥以外で良い方法などがあればご教授ください。 IPAにこだわりがあるわけでもないため、溶剤の変更も可能です。 以上、よろしくお願い致します。
お使いのIPAは、不純物の少ない半導体ウエハー洗浄用のグレードでしょうか？ また、油分等で汚染されていないでしょうか？
- 参考URL：
- http://www.tokuyama.co.jp/business/specialtyproducts/ic_chemical/products/tokusoh_ipa_se.html
補足
ohkawa様 ご回答ありがとうございます。 IPAは、99.9%以上の高純度品を使用しています。 ただ、蒸気乾燥ではないためIPAの槽に浸ける+かけ流す+ブラシ洗浄となります。 油分等による汚染も考えられたため、IPAを全て新品にて試験しましたが改善されませんでした。 空気中の水分を吸着してシミになるなどがあるのでしょうか。 特に湿度管理などはしておりません。 以上、よろしくお願い致します。
補足
tigers様、ご回答ありがとうございます。 前回ご質問させていただいてから、アドバイスを参考にし洗浄機メーカーなどにも相談し実際に試験を行っていただいたのですが解決に至っておりません。 各メーカーともに実績があるようですが、平板形状品やウエハーなどを得意としている反面、形状品への対応は研究中とのことです。 ?洗浄済市販品のスライドガラスを洗浄せずに成膜してもシミは発生せず。 そのスライドガラスを弊社にて洗浄するとシミが発生いたします。 よって、洗浄工程の二次汚染が考えられます。 ?純水リンス工程のご指摘ありがとうございます。 洗浄メーカーでの試験でも、純水リンスがあるメーカーのほうがよりよい結果でした。完璧には至りませんでしたので乾燥の仕方も重要であると考えます。 ?乾燥時の姿勢についてはご指摘の通りだと思います。 コップ形状であるため、縁に液溜まりが発生しやすく溜まったところはシミになりやすいです。 遠心分離にて飛ばしてあげればよいとも考えましたが、リードタイムや製品の破損などよりエアーブローに推移しました。 以上、よろしくお願い致します。 tiger様 とても理解しやすいアドバイスありがとうございます。 早期に蒸気乾燥装置などの導入は難しいため、参考にさせていただきトライ致します。 IPAは、水道水の置換として考えておりましたので、ミストリンスができるような機構を考えます。 エアーナイフに関しましても、市販品のエアーガン先端にアタッチメントにて エアーが拡散する方法をとっていましたのでらせん状のエアーナイフを考えていきます。 その際、流動なども計算しないといけないと思いますが、専門も業者様などはあるのでしょうか。