ポリマー上のAu電極作成

質問

ポリマー(PEN,PET等)、ガラス上に金を真空蒸着で作成する時、基板温度は室温で行っているのでしょうか？

また基板温度を上げる場合、PEN,PET転移温度があるのでどこまで上げたらいいのか分かりません。

あと、基板の洗浄はアセトンで超音波洗浄くらいでしょうか？

ご教授よろしくお願いします。

回答No.2

kenojisan · ベストアンサー

金蒸着はガラスにしかしたことが有りませんが、他の金属をPETフィルム（マイラー）にした経験が有ります。
マイラーの場合は、10分程度のアセトン超音波洗浄では大丈夫です。ただし、普通に大気乾燥するとアセトンの揮発性が高いので、気化熱冷却されて折角洗浄した基板表面に大気中の湿気が凝結して水滴がついてしまいますので、乾燥窒素かなにかで強制乾燥するか、もう少し揮発性の低いエタノールを使った方が良いでしょう。
私の場合は基板温度は上げていません。蒸着装置の構造にもよりますが、加熱しなくても蒸着源からの輻射熱で100度近くまで温度が上がる可能性が有りますので、ご注意ください。
金はほとんどの基板との密着性が悪く、基板加熱するとかえって自己凝縮して膜がはがれやすくなると思います。ガラス基板よりはポリマー系の方がましだと思いますが。
金電極ですが、機械的に測定端子を押しつけるとか導電性ペーストで接続する程度なら使えると思いますが、ワイヤーボンディングのような機械的な強度を必要とする場合には、下地膜として密着性の良いアルミやチタン膜を着けないと、簡単にはがれてしまいます。

回答No.1

noname#204885

蒸着はしたことないけど、ＴｇはＰＥＮで120℃、ＰＥＴで80℃くらいかな。でもルミラー使ってるけど溶融して大変なことになるのは200℃以上だよ。
150℃くらいまでは平気なのであまり気にしなくて良いと思う。（時間にもよると思うけど。）

アセトンは拭くくらいだったら大丈夫だけど超音波洗浄どぶ漬けだときつすぎるかも。エタノールくらいにしておけば？

お礼

ありがとうございます。
助かりました！