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VLSIレイアウト設計の基礎について
今度VLSIの設計を担当することになったのですが、基礎的なことに疑問をもったので、質問します。 まず、コンタクトの幅なのですが、なぜ、コンタクト幅は、決められた値(λや2λなど)以外は使用不可なのでしょうか? 理由を知りたいです。 また、メタル2と拡散層を接続するためにコンタクトを形成することは、なぜできないのでしょうか。
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noname#160321
回答No.1
少なくとも「化学」カテゴリーで聞いても答えは返ってこないでしょう。「科学」か「物理」ならあるいは言いお答えがつくかも。