LSIのアンテナ効果について

質問

アンテナ効果によるゲート破壊について教えていただきたいのです。

3層メタル配線のCMOSプロセスなのですが
・最下層の配線が長くアンテナになっている可能性あり
・その配線から中間層配線→最下層配線→トランジスタのゲートに接続
・よって最下層配線がアンテナにとすれば中間配線層ができてから
・中間層配線から上の工程（最上層配線へのコンタクト工程など）
　の途中で、絶縁層の下にある最下層配線に電界を生じさせ、アンテナ
　破壊を引き起こす可能性があるか

詳しいプロセスは書けないのですが、一般的にこの条件でアンテナ破壊
が起こる可能性はあるでしょうか？

回答No.2

hillton

No1にて マイナスイオン→プラスイオン に訂正です。
メタルＥｔｃｈの際、マイナスイオンにてレジストが
マイナス帯電するため、配線層側壁からはプラスイオンが入り込みます。

お礼

hillton様
早速ご丁寧かつ的確なご回答いただきありがとうございました。
大変助かりました。
参考にさせていただきます。
本当にありがとうございました。

回答No.1

hillton

Plasma etch/Depの際の電荷蓄積による静電破壊が主だと思いますが、
このときアンテナとして働くには、そのアンテナが最上層になければ
ならないはずです。そして多くがマイナスイオンが配線層の側壁から
入り込んで接続されてるゲート膜を挟んで高ポテンシャルになることによ
り破壊を引き起こすとされてます。従って、いくら長いアンテナでも
絶縁層で覆われてしまえばアンテナとしては働かないと思います。
可能性はゼロかと言われれば返答は難しいですが、今までそんな実例
や文献を見た事が有りません。
最下層配線へのコンタク形成の際にもしチャージするとするなら、
そのコンタクト加工条件は相当強烈なものである必要があると思います。
もしそうであれば、静電破壊が起こる前にレジストがもたないと思います。