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真空技術について質問です
真空技術について質問です ルツボを用いた蒸着源で 真空中で加熱し材料を蒸着した後 ルツボの中に残った材料はどういう形状でいるのでしょうか 自分は球体になっていることが多いきがします、横に広がって溶けている場合もあるので 何か共通点があるのではと思い質問しました。
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- Doteppara
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回答No.1
真空技術の門外漢です。 共通点というよりも、何の違いでそうなるのか、ということではだめでしょうか。 真空中でなくてもありえます。溶融した液体材料とルツボの材質間の濡れ角の違いではないでしょうか。濡れ角によって球状になったり、平らになったりします。毛細管の水と水銀の違いのようなものでしょう。 蒸着などルツボの材質が材料に混ざり込まないようにするためには、濡れ角が大きくて球状になったほうが都合がよいかも知れません。テフロンと水などは、濡れ角・接触角が180度ぐらい大きいので、水は、球状になります。 真空中でも、同様ではないかと考えて書き込みました。