真空装置イオンポンプについて

質問

真空装置イオンポンプについて

イオンポンプにはチタンのゲッター作用を利用しているのですが、
ゲッター作用とはどういう原理なんですか？
教えてください。
回答よろしくお願いします。

回答No.1

vingbing

十分な真空度になったあとでチタンを昇華させてチタンの清浄面をつくり、そこに気体分子を吸着させてより高い真空度を獲るものです。

お礼

ご回答ありがとうございます。
参考にさせていただきます。
本当にありがとうございました。