ベストアンサー 真空ポンプについて 2003/04/20 00:14 真空ポンプの、油回転ポンプと油拡散ポンプの原理について、できるだけ詳しく教えて下さい!! みんなの回答 (2) 専門家の回答 質問者が選んだベストアンサー ベストアンサー Umada ベストアンサー率83% (1169/1405) 2003/04/20 10:59 回答No.2 図も含めて説明したいと思います。 油回転ポンプ(ロータリーポンプとも呼ばれる)は通常、円筒形の容器の中で偏心した回転子を回し、容器内部の気体を順次かき出すことで真空を作ります。構造と動作原理は参考ページ[1]のv10「油回転ポンプの排気の様子」をご覧になれば一目瞭然です。edogawaranpoさんが注射器を例に説明下さっていますが、注射器では1回ピストンを引いたらそこでおしまいになるのに対し、回転させることで連続的に排気することが可能になっているわけです。「油」とつくのはedogawaranpoさんのご回答にもありますように、回転子と容器の間の気密性を確保するために若干の油を入れているためです。 到達真空度は1[Pa]くらいまでですが、構造が単純で安価であることから粗引き用の真空用ポンプとして広く使われています。真空に引きたい部分(真空容器)が油分子の混入を嫌う場合はロータリーポンプは使えず、ソープションポンプを使います。 油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)については[2]に構造と原理の詳しい説明がありますからご覧下さい。油を加熱して蒸気にしこの蒸気を狭い隙間から噴射します。その際油分子が一緒に気体分子を持ち去ることで動作します。ポンプの下部には冷却機構があり油分子は冷やされて液体に戻ります。 このポンプも構造は単純で、比較的安価に中程度の真空を得ることができるため広く使われていますが、真空容器が油分子の混入を嫌う場合にはやはり使えません。また単独で使用することはできず、必ず他のポンプ(大抵は油回転ポンプ)で排気側を引いて使用します。 [1] 「真空科学の世界」 http://physi.rc.kyushu-u.ac.jp/CORE/vac/ [2] 「うんちく-真空ポンプ」 http://www.arios.co.jp/untiku.htm [3] 「真空ゼミナール 第3回」 http://www.anelva.co.jp/fuku/zemi/533.htm 参考URL: http://physi.rc.kyushu-u.ac.jp/CORE/vac/, http://www.arios.co.jp/untiku.htm 質問者 お礼 2003/04/20 22:12 細かい説明と、参考URLまでどうもありがとうございました!! 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 その他の回答 (1) noname#21649 2003/04/20 04:32 回答No.1 >原理について、 ですから.具体的構造はご存知(1回は中身をバラしたことがある)として.こたえます。 注射器の入り口を閉じで.中身のピストンを引くと.中が真空になります。 ガラス製注射器を使って.乾いた状態では.真空になりません。間から空気が入ってしまいます。 間に.油を使って.機構を細工して.ピストンを低さぎょうをモーターを回すことで.可能にしたのが.油回転ポンプ 流しにボール(洗面器でもよいですよ)を置きます。 蛇口をあけて.水をボールの中に入れます。 すると.ボールにたまった水の中から気泡が出てきます。 これは.強い流れがあると.その流れに沿って.空気が移動するという.流体の性質です。 油拡散ポンプは.油の蒸気の流れを使って.付近にある空気を除去するものです。 質問者 お礼 2003/04/20 22:09 わかりやすく身近なもので説明してくださってありがとうございました!! 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 社会社会問題・時事自然環境・エネルギー 関連するQ&A 油拡散ポンプの酸化 油回転ポンプ,油拡散ポンプを使用して真空蒸着法を行っている者です. この間,油拡散ポンプのヒーターが十分熱くなっているとき,誤ってポンプ内を大気にさらしたまま10~15分ほど加熱してしまいました. その後,再び真空排気しようと試みたのですが,2×10^-5 Torr まで排気できていたものが, 7×10^-4 Torrまでしか到達しなくなりました. これって内部の油が酸化してしまっているのでしょうか? だとしたらどう対処すればいいのでしょうか? よろしくお願いします. 油拡散ポンプの油はなぜ 素朴な疑問なのですが、油拡散ポンプの油は、なぜ蒸発し切ってしまわないのでしょうか。高沸点だそうですが、高真空な条件なので、蒸発しやすそうな条件だと思うのですが。補助ポンプの油回転ポンプで引き続けていくと、少しずつ蒸発していかないのでしょうか。 油拡散ポンプについて 油拡散ポンプについてですが、資料等を見たのですが、いまいち構造が 理解できません・・・。頭悪いので・・・。 ヒーターで油を気化させてと言う所くらいしか解らず、真空ポンプで 真空引きすると、その油も引き込んでしまうのでは?と思ってしまいます。そう思っても良いのでしょうか?質問の仕方も悪いと思いますが宜しくお願いします。 移民問題の現実を教えて?人口減少時代の日本 OKWAVE コラム 油拡散ポンプ 油拡散ポンプを動作時に常に真空にしてなければならないのはなんでかなあ?教えてください* 拡散ポンプの動作不良について 拡散ポンプの動作不良について質問させていただきます. まず,現在の状況から説明いたしますと ロータリーポンプで粗びきしてから拡散ポンプへと切り替えを行った際, 容器内圧力が一気に上がってしまいます. この状態になった経緯を説明いたしますと, 1.真空にさせたい容器内で水漏れが発生 2.その水が拡散ポンプ及び経路内に侵入した恐れがあるため解体 3.拡散ポンプ内及び経路中の水分を除去 4.拡散ポンプ・ロータリーポンプの油を交換 となっており,ローターリーポンプに関しては油交換直後は 到達真空度に達さなかったものの,運転を繰り返すうちにそれも改善されております.ですのでホース等の経路内に水分は残っていないと考えています. ですので,拡散ポンプが動いていない原因としてヒーターの不良を考えてみましたが,これも正常に動いているようです. 他の原因としてどのようなことが考えられるでしょうか? このような真空機器に関してまだまだ素人で説明不足のところがあるかもしれませんが,ご教授の程よろしくお願いいたします. 真空ポンプの油交換後の試運転 真空ポンプの油交換後の試運転 メカニカルブースターポンプの油交換をした時に粗引き用の真空ポンプが動かせない場合、単独で試運転して不具合を確かめる方法はあるものでしょうか。 ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれ? ポンプ、運転状態、真空計の適切な組み合わせはどれでしょうか? a. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプ(排気速度:2m2/s)がN2ガス流量20Pa・m3を排気 B-A真空計 b. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 ピラニー真空計 c. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」メカニカルブースターポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 d. 「主」ターボ分子ポンプ「補助」ドライポンプ ターボ分子ポンプの到達圧力 B-A真空計 e. 「主」ドライポンプ ドライポンプの到達圧力 B-A真空計 真空ポンプへのアルコール分・水分の浸入 担当工程 ブレーキ部品を洗浄(ブレーキフルードで満たされた状態から水+アルコール混合液で洗浄)→真空引きを行い乾燥させる 問題点 ワークに付着した洗浄液(水+アルコール)が真空引きした際に気化し、真空ポンプ内部へ侵入。これに伴い、真空ポンプ破損 前提条件 使用真空ポンプはブレーキフルードをオイルとして使用できるライボルト製の湿式ポンプ。 原理 真空ポンプ内部がブレーキフルードでシールし、モーターを回転させているが、そこに洗浄液である水+アルコールを吸引することでブレーキフルードと交わり、粘度が低下、回転部過負荷により真空ポンプ破損 知りたいこと ・製品から真空ポンプに繋がる配管で水+アルコールの気化したものを液化し、除去する方法がないか? ・その他の方法で、真空ポンプ破損しない方法は無いか? 油回転ポンプ 油回転真空ポンプ(キニー型)のシリンダ内の油量はどのくらいあるのでしょうか?? 教えてください。 中古の真空ポンプの状態を判断する方法 興味本位で真空ポンプ(ロビネア油回転ポンプ)の中古を買いました。 ただ、タスコのポンプ油を交換して動かしてみたのですが、吸い口に指を吸わせてみても、かなり軽い吸い込みしかしません。指を離すときに音もしないくらい軽い吸い込みです。 このポンプが使えるか使えないか判断する方法はありますでしょうか。 圧力ゲージ(0.1Mから-0.1Mパスカル)は持っています。 工場に勤めているのでPTねじやユニファイねじは自由に切れます。 真空装置イオンポンプについて 真空装置イオンポンプについて イオンポンプにはチタンのゲッター作用を利用しているのですが、 ゲッター作用とはどういう原理なんですか? 教えてください。 回答よろしくお願いします。 真空ポンプの排気配管の注意 お世話になります。 真空ポンプの排気配管を検討中です。 真空ポンプの仕様は 形式;ロータリーベーン式真空ポンプ(油回転式) 設計排気速度;5m3/min(at 60Hz) 到達真空度;66.5Pa(約0.5Torr) 吸引口・口径;50A(接続方式;ねじ込み式) 排気口・口径;65A(接続方式;ねじ込み式) です。 ポンプから吸い込んだ空気を配管を介して排気しますが、 この排気系の配管を行うにあたり注意する点は どのような所でしょうか。 まずは常識的な所からご教授頂けるようお願いします。 宜しくお願い致します。 日本人が受け継ぐ信仰と作法とは?:海外の方にもわかりやすく解説! OKWAVE コラム 真空度と時間の関係 学校で真空蒸着の実験をしました。 まず、ベルジャー内を油拡散・油回転ポンプを使い真空状態にすると思いますが、そこで時間と真空度の関係である疑問が浮かびました。 時間と真空度が指数関数的な特性となるのは式から明らかなのはわかるんですが、開始5分で真空度が10^-5[Torr]まで達してそこから真空度はほぼ飽和状態になりました。 結局、到達真空度は10^-6[Torr]程度になりました。 なぜ飽和状態になってしまうのか考えてもよくわかりません。 そして0~10^-5[Torr]はとても早いのに、10^-5~10^-6[Torr]以降は時間がかかってしまうのはなぜなのか。 どなたかわかるかた、よろしくお願いします。 ちなみに物質を蒸発させて気体になる前の状態での疑問です。 真空ポンプ 真空ポンプによく排気速度180L/minとか記されてますが、 例えば180Lの容器を真空引きしたら1分で真空到達するってことですか? 真空容器の真空到達時間 容積0.05Lの真空容器を 200L/minクラスの油回転式真空ポンプで直接引いて100pa以下まで到達するのに、約3秒かかっています。 これを1秒以下にしたいのですが、何か良い方法はありませんでしょうか。 現在は容器の手前にSOLバルブを置いて約2mの真空用ゴムホースでポンプに接続しています。 真空ポンプの使い方について 蓋をして、その密閉空間(大気圧)の真空引きを行っています。 通常10秒ぐらいで真空になる密閉空間を、そのままの状態で1日中、回しっぱなし(真空になったところを引き続ける)にするとポンプの寿命等、何か問題があるのでしょうか。 よろしく、お願いします。 【真空ポンプ】真空ポンプの真空引き時に負圧状態にし 【真空ポンプ】真空ポンプの真空引き時に負圧状態にしたタンクに窒素を充填後に、液体を送り込んだときに空気がホースの隙間から入り込みましたがタンク内は負圧のままでした。タンク内に入った空気はどこに消えたのですか?負圧だから空気が入っても大丈夫なのですか? 真空ポンプについて すごく馬鹿らしい質問で申し訳ないのですが真空ポンプにて圧力を下げたのちもとに戻す過程について質問です。 ある断熱壁で覆われて、真空ポンプにつながれた密閉容器に気体が入っていたら、ポンプを用いて内部の圧力を下げることができると思います。 真空ポンプは容器内から気体を排出することで圧力を下げるということは この場合容器内部の粒子の数が減ることで圧力が下がると認識してます。 ではそこから次に圧力をもとに戻そうとするときに、吸引口のバルブを閉めていくことで 圧力計の目盛りが圧力上昇することを示すと思います。 このときって容器の中の粒子数が増えないと、温度が上がらない限り圧力は上昇しないんじゃないかと思います。 ということは今度は吸引し続けながらもポンプは容器内部に粒子を戻しているということでしょうか? これって逆流防止の弁みたいなのがついていておこりえるんでしょうか? あと戻している気体は抜いた気体ではなくてポンプ周囲の空気ということなんでしょうか? すごく初歩的なことが抜けてる気がしてなりませんが、コメントいただけると幸いです。 真空ポンプの使い方 真空ポンプulvac sinku kiko 3.0L/min 33.3kpa 0.15mpaを使ってポンプの電源を切ることなく、断続的にものを吊り上げるの方法をおしえてください。 機械は、初心者ですので詳しくお願いします。吊り上げるものは、卵ぐらいの重さです。 油回転ポンプ、水銀圧力計 油回転ポンプ、水銀圧力計の構造や原理を教えてください!! 詳しく知りたいので、乗っている本 またはURLも教えてください!! どちらも知りたいのですが、知っているほうのみでも かまいませんm(_ _)m どうぞよろしくお願いします。。 注目のQ&A 「You」や「I」が入った曲といえば? Part2 結婚について考えていない大学生の彼氏について 関東の方に聞きたいです 大阪万博について 駅の清涼飲料水自販機 不倫の慰謝料の請求について 新型コロナウイルスがもたらした功績について教えて 旧姓を使う理由。 回復メディアの保存方法 好きな人を諦める方法 小諸市(長野県)在住でスキーやスノボをする方の用具 カテゴリ 社会 社会問題・時事 ニュース・時事問題メディア・マスコミ教育問題防災 ・災害自然環境・エネルギー国際問題気象・気候経済政治その他(社会問題・時事) カテゴリ一覧を見る OKWAVE コラム 突然のトラブル?プリンター・メール・LINE編 携帯料金を賢く見直す!格安SIMと端末選びのポイントは? 友達って必要?友情って何だろう 大震災時の現実とは?私たちができる備え 「結婚相談所は恥ずかしい」は時代遅れ!負け組の誤解と出会いの掴み方 あなたにピッタリな商品が見つかる! OKWAVE セレクト コスメ化粧品 化粧水・クレンジングなど 健康食品・サプリ コンブチャなど バス用品 入浴剤・アミノ酸シャンプーなど スマホアプリ マッチングアプリなど ヘアケア 白髪染めヘアカラーなど インターネット回線 プロバイダ、光回線など
お礼
細かい説明と、参考URLまでどうもありがとうございました!!