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測長センサについて
金属を研磨した際の段差を非接触で測定するセンサ(変位センサ)を探しています。 段差は最大50mmで、分解能(精度)は1μm程度を必要としています。 非測定物またはセンサ側を移動して測定できればよいです。 オムロンの変位センサを検討しているのですが、どうもピッタリくるものが無さそうです。 良いものがありましたら、メーカーと型式等知りたいです。 よろしくお願いします。
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>研磨した際の段差を 正反射が強いので、実験機でテストをして確証を取ることを お勧めします。 http://sunx.jp/japanese/products/displacement/hl-c2/index.html ついでに段差50mmをクリアできる機種はANR1115程度かな。 ただし正反射の安定度は若干不安。 http://sunx.jp/japanese/products/displacement/lm10/specifications.html
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ありがとうございました。 参考になりました。