エアシリンダの位置決め繰り返し精度について
いつも皆さんにお世話になっております。
ありがとうございます。
エアシリンダの位置決め繰り返し精度について質問です。
エアシリンダの位置決め繰り返し精度を調べたのですが、シリンダのせいか、センサのせいか、わかりません。
やり方としては、シリンダの上昇端に行く手前にストッパをとりつけておき、シリンダの動きとしては、ストッパに突き当たるまで上昇します。
その上昇端を変位計で測定します。
結果として100μmで校正し、±0.15μm程度でした。
性能はこんなもんでしょうか？
ストッパの剛性が足らなかったのかもしれませんが・・・
実は分解能1ナノのセンサヘッドをとりつける構想があり、ヘッドとワーク間の距離が0.5mm程度なのでシリンダ等で逃がす必要があります。
しかしながら、シリンダの位置決め繰り返し調査でこのような結果になってしまったので、シリンダは諦めざるを得ないかなと思っています。
しかし、逃がさないとヘッドが通れません・・・
私的には±0.05μmくらいあればいいのでは、と思ったのですが、動作するところが多ければ多いほど測定繰り返し誤差は生まれます。
高精度位置決めが可能なエアシリンダ、お勧めはありませんでしょうか？
