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形状測定方法について
- 金属部品の形状を非接触で測定する方法についてお知りですか？
- ほしい精度は１μｍで、接触式の形状測定機のような波形が取れる方法を探しています。
- 現在は測定物を移動させ、固定されたレーザー変位計を使用して測定していますが、面粗さの影響で正確な測定ができません。
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目的がいまいちはっきりしませんね なにゆえ非接触なのか？ 計測精度が１μｍ欲しいとなると マイクロメータ以上の精度 インライン計測をお考えなら 形状によってはレーザーマイクロスキャン計測器がありますが 形状波形までは出ませんね 精度も±２μｍぐらい 質問内容から察すれば アウトラインによるコントレーサー計測が 一般的ですが、これでも 精度的に厳しいですね 非接触は現技術では不可能と思われます
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レーザー変位計でしたら、オプテックスという京都の会社のが革命的に安いのを出して来てますが１μｍは残念ながら無理です。キーエンスのレーザー変位計でもリニアリティが悪いので絶対精度は出ません。 また、忘れてはならないのはスポット径です。測定結果はその径内の平均値ですので細かいのが必要なら、接触式でスタイラス先端の小さいのがいいですね。非接触が前提なら光触針です。ミツトヨ（ステージはユーザ手配）やその他のメーカが出してます。 ヘッドだけなら安いので２００万くらいです。 具体的な形状が分かればもっと詳しく相談に乗れます。 以上。
キーエンスのは共焦点顕微鏡の高級なタイプです。 測定面積がおそらく数百ミクロンの限られている 事と、対物のＮＡの関係できつい凹凸は測定できません。価格も１０００万円以上です。 １ミクロンというのは繰り返し精度ですか、絶対精度でしょうか。どんな測定方法でも、繰り返しで１ミクロンは非常に厳しいです。 ワークの全体形状によってどんな測定がいいのか異なります。まずはもう少し詳しく教えて頂いた方が皆さん考え易いと思います。究極的には松下のＵＡ３Ｐなどの原子間力顕微鏡の精度が最高ですが、ワークの形状によりますし、もっと安く簡単に測りたいですよね。
レーザー顕微鏡というのがありまして、多分それでうまくいくのでないかと思います。 キーエンスとかで扱っています。
お礼
ありがとうございます。 ちょっと高価そうですね。 生産ラインに使用するイメ－ジで考えています
お礼
ありがとうございます キ－エンスのものはやはり高いみたいですね。 レ－ザ－変位計くらいのレベルで考えています。 ただ、使用された方は分かると思いますが、あらめの研磨面だとアナログ出力をとってもヒゲヒゲの波形になってしまいます。移動平均はかけてみましたが ひげひげがひどく、うまくいきませんでした。 接触式の形状測定器でそくていしたような波形が得られれば、と思っています。