【探しています】CVDに関する入門書

質問

CVD(特にプラズマCVD)に関する入門書を探しています。
入門書という表現が曖昧ではありますが、
まったくの専門外ですので、とにかく
単純明快なものが好ましいです。
分かりやすいサイトでも結構です。
どうぞよろしくお願い申し上げます。

回答No.1

microftxxx · ベストアンサー

Webでざっくり探してみたのですが、英語のWiki
http://en.wikipedia.org/wiki/Chemical_vapor_deposition
が、ちょっと入門ぽくまとめてありました。
PE-CVDについては今ひとつこれといったものは少ないみたいですが、
http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/aplab/res/pp.html
あたりでまずはプラズマプロセスについての予備知識を得てみては？
プラズマCVDは、一般的に、Plasma Enhanced CVD (PE-CVD or PCVD)と表記されることが多いですよ。これらで丹念にぐぐってみれば、入門的な情報は得られると思いますよ。それ以上については、専門書と文献にあたることが必要です。

お礼

ご丁寧な回答、大変ありがたく思います！！
とても助かります。
なかなか良書はないものですね～。