プラズマCVDについて

質問

全くのド素人で申し訳ありません。
現在プラズマCVDで、基板上に製膜を考えております。
そこで、プラズマを見るために、Q-massや、ラングミュアプローブ、分光分析装置などいろいろあり、どれかを導入しようと考えているのですが、決めかねております。
それぞれの装置が何を見るための装置なのかは理解出来ているつもりなのですが、
主要な用途がいまいち理解出来ておりません。
これらの装置の利用方法が記載されているホームページなどご存じでしたら教えて頂けないでしょうか。
よろしくお願い申し上げます。

回答No.1

nta

通常はどのような膜をどういったプラズマで生成するかを装置メーカに相談すれば測定器を含めて適当なセットが提供されるはずなので、このような掲示板で相談されるということは実験レベルなのかなと想像しています。
　どれかを導入するということですが、どんな膜を付けるのかによって必要とするプラズマが違ってくるわけであり、それによって制御べきパラメータが違っていて、測定装置が必要になるということだと思います。
　ホームページで適当なところは知りませんが、プラズマCVD関係の書籍はいろいろ市販されており、プラズマプロセスの本を読めばほとんど書かれていると思います。
　役に立たない回答ですが、具体的な質問があればできるかぎりお答えします。

お礼

ありがとうございます。
ご想像の通り、現在、実験レベルです。
実験レベルですので、現在、どのような膜を付けるかも決まっておりません。
付いた膜が、目的の機能を果たすかどうかを評価して行く予定となっております。
珪素および炭素を含む膜を付けようとした場合、どのような所を注意しておけばよいのでしょうか