プラズマCVDにおける電子について

質問

お世話になります。
プラズマCVDのことでお聞きしたいのですが、
高周波やDC電源でプラズマを起て、基板はアースにつないでおくと、電子は、基板に向かって飛んでいくと思うのですが、この際、基板状に堆積した膜材質は飛んできた電子でダメージを受けるのでしょうか？
もしくは、電子によって基板に埋め込まれるのでしょうか？

回答No.1

BACKHAND · ベストアンサー

某メーカのプラズマCVD担当です。
基本的には、何らかのダメージを受けます。特に高密度
プラズマCVD(基板にBias RFを印加するもの）は、顕著に
現れ、膜質（膜収縮率、エッチレート、絶縁耐性等）に変化
が見られます。

お礼

ありがとうございます。
膜厚を稼ぐのに時間がかかって困っておりました。
早速、何らかの手段を講じて解決したいと思います。
お忙しいところありがとうございました。

回答No.2

smity

どのようなデバイスで絶縁膜を形成するかにも
よるのですが、たとえばメモリーやロジックなどの
素子の場合、トランジスター部に近いところでは、
ダメージを考えプラズマCVDは使いません。
上層配線部では、多少のダメージは許容できる
はずです。　

プラズマと基盤の電位差で加速された、イオン衝撃
によるダメージの他、プラズマの不均一性により
径方向の電位不均一さによる、基板内での絶縁破壊
などのダメージも考える必要があります。

また、プラズマCVDで成膜した膜自身の中にも
チャージし電荷が溜め込まれる事があり、問題と
成ることがあります。