プラズマCVDでのArガスの役割

質問

文献やネットで調べると, 炭素材料などをプラズマCVDで作製する際に,
成膜時に原料ガスの他にArガスを使用している例を見かけます.

この成膜時に使用しているArガスの役割は何なのでしょうか?
また, 使用する理由はArガスの性質によるものなのでしょうか?

回答No.2

noname#160321

＃１のお答えは正しくないと思います。
この場合はアルゴンのプラズマを作っているのです。アルゴンには大きな反応性はないのでエネルギーだけが原料に伝達され、原料を分解します。

回答No.1

noe03

不活性ガスとしてのＡｒだと思います。

例えばＴＩＧ溶接などでも、不活性ガスで、
容易に入手可能で安値という理由でＡｒが使われます。

http://www.ekouhou.net/%E3%83%9E%E3%82%A4%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%EF%BC%A3%EF%BC%B6%EF%BC%A4%E8%A3%85%E7%BD%AE/disp-A,2008-47927.html