論文中の用語 （薄膜）

質問

ECRスパッタに関する論文を読んでいて,
わからない言葉にいくつかぶつかりました。
以下の単語です。

as depo, アニール, フラットバンド電圧, バリア耐性, arb

ご存知の方,1つでもいいので教えて下さい。
いつもわからない単語に苦労するので,
出来れば良い辞書などを紹介していただけると幸いです。
英語の論文を読むときも訳し方がわからず,
technical termにも苦労しています。

どうかよろしくお願いいたします。

回答No.2

noname#16084 · ベストアンサー

ａｓ　ｄｅｐｏ：
ｄｅｐｏはｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの略．
成膜した直後の状態や，そのサンプルを指す．

アニール：
サンプルを，温度を上げた状態にしばらく保つこと．
サンプル内で発生している応力を，緩和させるなどの目的で行われる．
アニールしたサンプルに対し，
アニール前のサンプルが，ａｓ　ｄｅｐｏということになる．

フラットバンド電圧：
バンドダイヤグラムは知っていますか？知らなければ別に勉強して下さい．
半導体のバンドダイヤグラムは，
表面や界面では一般に彎曲しています．
不純物や欠陥，空間電荷などが存在するからです．
半導体に適当な電圧をかけると，
バンドを平らにすることができますが，
平らにするために，必要な電圧のことです．

バリア耐性：
すみません，分かりません．

ａｒｂ：
たぶん，ａｒｂ．　ｕｎｉｔと書いてあったと思います．
ａｒｂｉｔｒａｒｙの略で，「任意の」の意味．
例えば，Ｘ線回折では，
回折角２θを変えた場合，どのθでピークが現れるかと，
ピーク強度の，相対的な比のみが重要で，
ピーク強度の絶対値には，特に意味がありません．
そんなとき，グラフの縦軸は，「任意目盛」の意味で，
ａｒｂ．　ｕｎｉｔと注記されます．

専門用語を，網羅的に収録した辞書は，まず見つからないでしょう．
その専門分野のハンドブックや，用語集を使うのが現実的です．
どの分野のハンドブックを見ればよいか，分からない場合は
不明な単語を元の綴りのまま，検索エンジンで調べてみるのが早いです．
運がよければすぐ，誰かが作った用語集にヒットするでしょう．
そうでなくても，いろいろな人の研究データが引っ掛かります．
（海外の英語ページが引っ掛かることが，多いですが）
いくつか眺めれば，その単語がだいたいどんな意味を持つのか，見当がつきます．

お礼

大変丁寧な説明,ありがとうございます。大変助かりました。

いつも　英語辞書,専門書(日本語),英語論文検索,google
などで調べていますが,読み進めるのが大変です。

本当にありがとうございました。

回答No.1

wuyan

as depo: as deposited の略で、成膜後熱処理前の状態。
アニール: 英語の anneal で、焼鈍のこと。
フラットバンド電圧: 下記参照。
http://66.102.7.104/search?q=cache:_bEYqXilxvAJ:www.tc.knct.ac.jp/~hayama/denshi/chapter5.ppt+%22%E3%83%95%E3%83%A9%E3%83%83%E3%83%88%E3%83%90%E3%83%B3%E3%83%89%E9%9B%BB%E5%9C%A7%22&hl=ja&start=7&lr=lang_ja|lang_en
バリア耐性: 不明
arb: arb. unit ならば arbitrary unit の略。任意単位のこと。メートルやグラムのように明確に定義された単位ではなく、何かを基準にした相対的な単位。たとえば「東京ドーム何個分」とか。

お礼

こんなに早く回答いただけるとは思っていませんでした。
ありがとうございます。
as depoなんてものすごく納得です。
arbもarb unitで使っていました。

本当にどうもありがとうございました！