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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：基板上薄膜を剥がしたい）
基板上薄膜の剥がし方は？
このQ&Aのポイント
- Si基板やガラス基板上に形成した薄膜を剥がす方法について教えてください。
- 通常はフッ酸を使用してSiO2を溶解させる方法が一般的ですが、他にもフッ酸を使わない方法があれば教えてください。
- フッ酸をできるだけ使用したくない場合でも、効果的な薄膜剥がし方法があるか教えてください。
noname#230358
- その他（表面処理技術）
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noname#230359
回答No.2
Si基板だったらKOHなどのアルカリでいけます。 ただ剥がしたい膜が持つかどうかも重要ですよね。
その他の回答 (1)
noname#230359
回答No.1
ドライエッチング（プラズマエッチング） とかどうでしょうか？？
質問者
補足
アドバイスありがとうございます プラズマエッチングには装置が必要ですよね。 お金がないので、できればウェットな方法でおこないたいのです。 言葉足らずで申し訳ございません。
お礼
非常に参考になる意見ありがとうございました。