半導体のリソグラフィ工程のBARCとは？

質問

BARCとは何をするもののことですか？直訳すると裏面反射防止コーティングという意味らしいんですが、さっぱりわかりません。教えて下さーい。

回答No.2

gator · ベストアンサー

まず、BARCはレジストを塗布する前に、塗布します。
それで、露光、現像するとレジストパターンの下にBARCが
あるという状態ですね。材質としては、レジストと似たような
有機膜が一般的です。

というわけで、次はエッチング工程ですよね。なので、エッチング
の最初にBARCをエッチングするステップを追加することになります。

ステップと言ったのは、その下のエッチング工程で、同じ装置で連続
してエッチングするのが普通だからです。

以上

お礼

再度のご回答ありごとうございました！！

回答No.1

gator

レジストの入射光と、レジスト底面での反射光が干渉を起こし、
レジストの厚さ方向に、強く露光される部分と弱く露光される部分
ができてしまいます。その結果、現像後、レジストの側面が波打って
しまいます。それを防止するためのものです。
BはBottomのBだったような気がします。

以上

お礼

ありがとうございます。
さらに聞いてもよいですか！？
BARCは役目を終えた後、どうするのですか？剥離させる？