半導体WET工程について

質問

半導体WET工程について詳しく書かれている書籍を探しています。
入門書などで，検査前と検査後のウェーハーの違いがはっきりわかるような図解いりの本をご存知の方はいらっしゃいませんでしょうか？
顕微鏡を使った検査でみるポイントがよくわかりません。

回答No.1

microftxxx · ベストアンサー

「半導体」の「WET工程」では回答しようにもあまりにも範囲が広すぎますよ。
シリコンなのか化合物なのか？
フッ酸、硫酸過水、コリン、それともその他の洗浄工程？
顕微鏡を使った検査ということは、下地依存でもあるわけなので、もう少し情報を開示しないと、有効な回答は得られないと思います。
質問者さんの欲しいのはかなり限られた分野のようなので、書籍は正直あまり期待できないと思います。

お礼

回答していただきありがとうございます。
書籍はあまり期待できないということがわかっただけでも自分としてはとても助かりました。
実は，現在働いている工場で，派遣社員から契約社員に切り替わるので少しでも勉強しておいたほうがよいかと思ったのですが，検査の作業は数をこなして早くポイントつかめるように頑張ります。本当にありがとうございました。