静電アクチュエータについて

質問

静電アクチュエータを、30μm・1秒間に200回ストローク
させることは可能でしょうか？
また、上記の動作の際に、どのような問題が
あるのかも教えていただけますと幸いです。

静電アクチュエータについて、本やネットで調べましたが
情報があまり載っておらず、困っています。

当方、機械初心者ですので、よろしくお願いいたします。

回答No.1

tance

静電アクチュエータとはピエゾのことだと解釈しての回答です。もしMEMSなどで使われる純粋にクーロン力によるアクチュエータのことならこの回答は少々的外れですので無視してください。

どのくらいの負荷を駆動するのか、往復の位置や速度の時間関数の形まで指定されるのか、その位置精度、等で変わってきますが、まずは一般論としては、問題ないと思います。

静電アクチュエータではないですが、磁石とコイルで作られた普通のスピーカで200Hzは余裕で動きます。振幅も200Hzなら1mm以上振幅させることは容易です。

静電アクチュエータで30μm振幅は適当な値です。

情報があまりない、とのことですが、ピエゾアクチュエータのメーカを当たれば相当詳しい情報が得られますよ。

http://www.pi-japan.jp/pzttr.html
http://keystone-intl.co.jp/piezocatalog/cedrat/cedrat_jpn.pdf
http://mess-tek.co.jp/products/products_c/products_c01/
http://www.piezoposition.jp/piezo/choose.html
http://www.murata.co.jp/products/micromechatronics/feature/actuator/
http://www.s-sl.co.jp/product/open_stage/
http://techon.nikkeibp.co.jp/article/HONSHI/20061029/122896/

お礼

ご回答ありがとうございました。URLもご参考にさせて
いただきます。