装置導入時の仕様検証に関して

質問

現在ある設備の導入を考えておりますが、その際に仕様書に記載されている機械精度を、こちらで検証する方法で苦慮しています。
　今導入予定の機械では、ある平面の平行度5μm以下を仕様としております。平面度の評価では、普通ナイフエッジとシックネスゲージを使用して評価する手法がありますが、上記精度を保証するのは難しいですよね。そこで、μmオーダーの機械精度評価はどのように行われているのかを伺いたいと思います。

導入時の評価ですので、相手先に出向いて測定するという事を前提に、持ち運び可能なものを考えております。

回答No.3

noname#230359

時間的な余裕があれば，
?工作機メーカ
?公的，私的検査機関
?大学の研究室
に問い合わせてはいかがでしょうか。

　つながりがなければ，小回りのきく商社，導入先のメーカに相談するも一方法かもしれません。

回答No.2

noname#230359

こんな記事が載っていました。ご参考まで。

・・・・測定精度は10nm。
http://nano.nikkeibp.co.jp/members/NEWS/20040322/10967/

お礼

情報ありがとうございます。詳細が見れないのですが、装置自体の大きさはそれほどないのでしょうか？。今回、発注先へ出向いて評価したいので、持ち運びできるものを使用したいと考えております。

回答No.1

noname#230359

大きさにもよりますが水準器又はオートコリメータによる方法が直定規などが不要で簡単に出来ます

お礼

ご返答ありがとうございます。水準器でその精度を満たすものがありましたが、結構な値段ですね・・・。もうちょっと検討してみます。