ターゲット材におけるリデポの意味・内容について

質問

新しい職場にてスパッタリングターゲット材を扱っているのですが、

「リデポ」、「逆デポ」という単語を良く耳にします。専門用語を略したものなのでしょうか?
調べてみたのですがはっきりした答えが見つからなかったため質問させて頂きました。

「リデポ」、「逆デポ」の意味含め、ターゲット材のどの様な状態を指しているのかご教示願います。

どうぞ、よろしくお願いいたします。

回答No.1

S7392H841H5460K · ベストアンサー

ターゲット材を扱っていませんが、学生の時にさわっていましたので。

リデポ
　スパッタガスでターゲット材から叩き出された粒子が、ターゲット材の非エロージョン部分に
　再度付着することだったと思います。
　これがエロージョン部分に入ってくるとアーキングの一因になるので、付着を防いだり、付着
　したものがはがれないようにすることが重要と教わったと思います。

逆デポ
　私は逆デポという言葉は記憶にないのですが、逆スパッタではないでしょうか。逆スパッタな
　らば、スパッタガスでターゲット材から叩き出された粒子が対向する基板などに膜として付着
　し、その膜がスパッタガスで逆に叩き出されてしまうことを言ったと思います。

お礼

お礼が遅れてしまい申し訳ありません。
また回答ありがとうございます。ためになりました。