MEMSに必要な知識

質問

こんにちは、電子工学専攻の修士課程のものです。
内定先の企業でMEMSスイッチを研究しているようで、私もこの分野に興味があります。
半導体のプロセス同様リソグラフィとエッチングで作成するのはわかるのですが、機械分野の知識があまりないため本を読んでもわからない部分があります。
そこでMEMSの理解に必要な基礎的な機械分野の勉強ができる本を紹介して頂きたいのです。
また、その他にも必要だと思われる知識や良書などがございましたら教えて頂きたいです。
よろしくお願いします。

回答No.1

yonesuke35

大学の図書館で企業の雑誌、学会誌の予稿集を選んで読んで見れば
かなり判ると思います。