エッチング

質問

例えば純度が高いシリコンをエッチングする場合と、
不純物を含んだシリコンをエッチングする場合では
不純物を含んだシリコンの方がエッチングレートが早いと
聞きました。
原理的にどのような事が起こっているのでしょうか？
詳しい方がいらしたら教えてください。

回答No.1

noname#160321 · ベストアンサー

詳しくはありませんが、常識的なところで…。
不純物をふくむ物質は、１)粒子の境界が有ることが多くその境界部分が容易に浸食されます。2)境界が無くても不純物が不均一に固溶していれば、全体に「電位差」が生じ、これが浸食を容易にします。