AuSnスパッタ膜のエッチング

2008/07/25 15:09

このQ&Aのポイント

AuSnスパッタ膜をエッチングする方法はありますか？
WETエッチングにはどんな薬液が使用できますか？
AuSnスパッタ膜のエッチングにおすすめの薬液は何ですか？

noname#230358

金属
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noname#230359

2008/07/26 14:31 回答No.1

エッチングの仕様は、＊表面をなめらかにする＊マスクをした後に、マスク材とAuSnのエッチング選択比にて　エッチング加工する等々がありますが、どれに該当しますか？以上を含めて、半導体製造メーカーに、ケミカルを納品している会社に相談した方が良いでしょう。エッチングレートは、濃度や温度管理が必要で、且つ微小異物混入もＮＧなら、供給も含めて相談した方が良いと考えます。