フッ酸によるシリコンのエッチング

質問

エッチング素人です。
フッ酸によってシリコンウエハをエッチングした場合、
どのくらいの表面粗さを得ることができるのでしょうか？
Ra：1nmは可能でしょうか？
解答よろしくお願いします。

回答No.1

noname#160321 · ベストアンサー

ネットで特許サイトの検索をするのが早いかも知れませんね。
結構ノウハウの処があるので。

お礼

自己解決しました。
ありがとうございました。