SEMとEDXについて

質問

黄銅の表面分析にSEMとEDXを使いました。原理を調べて卒論で簡単に説明したいのですが、調べてみてもイマイチ分かりません。
結局何を検出しているのでしょうか、どのような信号を読んでCuがあるとか、わかるのですか？どなたか、詳しい方、教えて下さい。

回答No.1

gator · ベストアンサー

SEMは走査型電子顕微鏡。
Yahooで「SEM 電子顕微鏡」として検索してみました。
例えば、
http://www.remus.dti.ne.jp/~kkkkwing/index.html

EDXはエネルギ分散型X線分析装置。
Yahooで「分析顕微鏡」として検索してみました。
例えば、
http://www.kiyokawa.co.jp/tech/analyze/index.html

SEMは電子を当てて反射電子や二次電子を見て、サンプルの形状を見ます。
EDXはSEMやTEM(透過型電子顕微鏡)に付属していて、電子を当てた時に
出てくる特性X線を見て、元素分析を行います。SEMやTEM像と対応させて、
特定の部分の元素分析やマッピングを行うことができます。

特性X線は良いですか? 何らかの手段で原子を励起状態(電子が別の高い軌
道に移ること)にして、それがより低い状態や基底状態に落ちる時に、放出
されるX線のこと。それぞれのエネルギ準位は元素によって異なるので元素
分析ができる。

以上

補足

どうも有難うございます。ついでにもう一つ、よろしいですか？
元素ごとに特定X線があるのは分かりましたが、
例えば、CuとSがあったとして、それぞれ特定X線がありますよね、
その個々のX線に名前はあるのでしょうか？Sは何線とか、Cuは何線とか、
『EDXで分析した結果、硫黄が検出された。』
という文ではなく、これが検出されたから、硫黄があると確認できた！
という風にしたいのです、、、
特定X線で検索しても個々の元素についての説明はなかったもので困っています。
よろしかったらお願い致します。

回答No.2

gator

> 例えば、CuとSがあったとして、それぞれ特定X線がありますよね、
> その個々のX線に名前はあるのでしょうか？Sは何線とか、Cuは何線とか、
そうです。SのKα線とか、一つの元素でも色々遷移があるので、命名の決まり
があるようです。

そういうのは図書館に行ってデータブックとかハンドブックを見ると乗ってい
ます。
Yahooで「特性X線」で検索してみました。山のように出てきたので「準位」
とか「遷移」で絞ってみましたが、あまり減りませんでした。とりあえず、
下のURLを挙げておきます。
このページから目次に戻って「特性X線の波長」-「データ」とリンクを辿ると
そのページのしたの方に元素で検索できるようになっています。しっかり見ては
いませんが、ちょっと古いデータのようです。専門家ではないのでよくは分かり
ません。web上にもあると思うので、もっと探してみるか、図書室で調べるのが良
いと思います。

色々調べてみてください。

参考URL：

http://dental.senzoku.showa-u.ac.jp/dent/radiol/Prometheus/MultiMediaEncy/dbook/1-1-1-3.html

お礼

どうも有難うございました。発表に間に合いそうです。