EPMAとEDXの違いは？

質問

EPMAとEDXの違いってなんでしょうか？
ともに定性、定量分析できると思うのですが、
感度、分解能などどちらが優れてるのでしょうか？

もうひとつ、EPMAの結果の中で
ratioとquantitative collection calculationというのがあります。
ともに組成比の値が出ていますが、その値が違います。
ratioは普通の組成比だと思うんですが、後者は何なんでしょうか。日本語に訳すと定量収集計算？
collection＝ZAF4とあるので、何らかの条件を設定して再計算したのかなぁと勝手に思っていますが、このZAF4とは何者でしょうか・・・。
前者と後者の組成比には違いがあるといいましたが
どちらがより正確な値なのでしょうか。やはり条件設定をしたZAF4のほう？
EPMAを使っている方には初歩的な話ですが教えてください。。

回答No.1

ichiroy · ベストアンサー

EDX(energy dispersive X-ray spectroscopy、エネルギー分散型X線分光法）はEPMA(electron probe X-ray microanalyser、電子線またはX線アナライザ）の中のひとつの分析手法です。
なので比較ということはできません....
EDXを用いたEPMA分析ということはいえると思います。電子線を資料に当てて、帰ってくる特性X線信号を検出することによって定性、定量分析を行うことができます。
ratioは組成（定性分析）で、quantitative collection calcurationは定量分析に必要な補正計算を表しています。
定量分析の場合は、何らかの検量線かあるいは、補正計算が必要になります。
ZAF4/FLSは定量をするための計算式というかソフトウェアの種類です。なので、後者の結果は定量計算した後の結果だと思います。
ただきちんと校正していないと定量の結果が当てにならないのは言うまでもありませんので、一度きちんと校正をしておくことをお勧めします。まずはマニュアルを一読されること。何らかの記述があるはずですから...