低倍SEM画像のゆがみとEDXの適正倍率について。

質問

低倍SEM画像のゆがみとEDXの適正倍率について。
SEMで数十倍の低倍で観察した時に、モニタ上で画像の周辺部がゆがんで見えますが、
これはどのような原因で起きているのでしょうか？（試料は磁性体、絶縁物系ではありません。）
また、EDXで3000倍（5000倍だったかもしれません・・）以上で元素分析を行おうと
すると、この倍率で本当によいですか？のようなポップアップウインドウがでてきますが、
EDX使用の際に適正な倍率があるのでしょうか？
以前数十倍の倍率でマッピングをしたら、何も表示されない（真っ黒）な場所がありました。
その部分を数百倍でマッピングしたらきちんと表示されました。
適正な倍率等があれば、教えて頂ければと思います。
宜しくお願い致します。

回答No.1

chiezo2005 · ベストアンサー

低倍率のSEMの像のひずみの原因は多くは、
低倍率の場合には電子線の偏向角が大きくなるため、
特に周辺部で実際のビーム偏向角が所定の位置からずれることによるものです。

EDXの倍率については特に適正な倍率はありません。
電子ビームの当たった部分のX線を測定するので、
高倍率では小さい領域を測定することになります。
ただし、結果として入射電子線のエネルギーが微小面積に集中することになるので、
試料が損傷してしまうこともあります。
一般的に、EDX測定時はビーム電流は多めに設定すると思いますので、
熱や電子線に弱い試料の場合には高倍率で撮影しないほうがよいでしょう。

極端な低倍率は表面形状の注意が必要です。
SEM像は低速二次電子像なので、電子線ディテクタからみて影の部分に電子ビームが
当たっても、電子を捕獲できる、つまり像が見えます。
しかし、EDXのマッピング像はX線検出器からみて、電子ビームが照射されているところ
が影になっている場合にはX線の直進性が強いために、
途中でX線が遮られてしまう可能性があります。

たぶん、
経験された真っ黒の部分はこのようにX線検出器からみて影になった部分だと
思います。

お礼

なるほど、そうだったのですか。
マッピングの方は、黒くなっていた部分からの特性X線が、あるいは検出器に入っていなかったの
かもしれませんね。
ありがとうございました！