SEM観察時のカーボン蒸着について

質問

試料（ガラス状）の表面をSEMで観察しています。
操作マニュアルには、観察前にカーボン蒸着を施すよう書かれているのですが、その理由・原理を詳しく知りたいです。
どなたかご存知の方がいたら、宜しくお願いします。

回答No.2

usotsuki · ベストアンサー

No.1の方の回答と同じことですが、SEM(走査型電子顕微鏡)も、EM(電子顕微鏡)も真空管と同じ原理です。

陰極からの電子線は、電子銃、ポールピース、電子レンズ、偏向板を経て試料面に照射されますが、試料面が非導電性ですと、陽極(この場合は試料面)から陰極に向かって電流が流れます。
試料面がガラス状ですと電流の流れる経路ができないために、電流の経路を作ろうとして、電子ビームがさまよって正しく像を観測できなくなります。そのために、試料面を導電性の薄膜でスパッター(真空蒸着)を行います。

良い結果を出すためにも試料つくりが一番大事だと思います。

もう古の記憶です、間違っているかも知れません。
usotsukiでした。

お礼

電子線の流れについての説明を頂き、No.1の方の説明が、さらに補完されたと思います。
ありがとうございました。

回答No.3

apple-man

帯電防止です。
カーボン蒸着してても、明るさのむらが
できるでしょ。そこが帯電してるんですね。
カーボンの蒸着がよくないと、部分的に
明るい部分が残ったりすると思います。

　カーボン蒸着してないと、試料全体が
帯電してよく見えなくなるはずです。

お礼

明るさのムラが帯電に起因しているのを始めて知りました。
原因が分かると、同じ観察でもより深く行えそうです。
ありがとうございました。

回答No.1

Lacoon

SEMでは加速電子を試料に当てて飛び出してきた2次電子を検出します。
このとき、加速電子によって試料は帯電します。そうするとcontrastが異常になり、像もぼやけてしまいます。
したがってこれを避けるために試料表面にごく薄い導電層をCやAuなどでつくり電荷を逃がしています。

お礼

像のコントラストに直接関わることなのですね。
原理を知らずに、導電層を設けずに観察したこともありましたが、全てやり直そうとおもっています。
ありがとうございました。