パラジウム（Ｐd）のエッチング液について

質問

金（Ａｕ）とパラジウム（Ｐｄ）が積層されている膜について、金（Ａｕ）はエッチングされず、パラジウム（Ｐｄ）だけを選択エッチングできるエッチング液を探しています。ちなみにＰd厚は０．２μm程度、Ａｕ厚は数μｍ程度となっています。なお、電解でのエッチングは不可という制約があります。薬品の調合が必要であれば、それぞれの薬品名と調合の割合などを。また、エッチングの条件（温度？、時間？）など、情報は詳しい方がありがたいです。とても困っていますので、ぜひともよろしくお願いします。

回答No.1

noname#230359

東京応化さん等の薬品メーカーに確認された方が良いと思いますよ。
エッチング条件（温度？、時間？）があるので。

それに、実際の使用となると純度が問題になるから。
使用時に、不純物でドーピングしてはいけないし。
この工程ではなく、次工程に持ち出してドーピングする場合もあるので、
やはり、購入も含めて薬品メーカーに確認された方が良いです。

お礼

情報、ありがとうございました。