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エッチング液について
ニクロムについてご教授していただきたくお願い致します。 ニクロム膜(5μm)を3分以内でエッチング(フォトリソ)したく エッチング液の情報を教えていただきたくお願い致します。 硝酸第二セリウムアンモン系以外でお願い致します。 Fe2Cl3系で可能でしょうか?
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ニクロムについてご教授していただきたくお願い致します。 ニクロム膜(5μm)を3分以内でエッチング(フォトリソ)したく エッチング液の情報を教えていただきたくお願い致します。 硝酸第二セリウムアンモン系以外でお願い致します。 Fe2Cl3系で可能でしょうか?