真空バリコンの構造

質問

１３．５６ＭＨｚ高周波によるプラズマ装置、やってます。整合器
には真空バリコンが使われてますが、回転軸部の損傷が多いんです。
興味があって調べてるんですが、一体真空バリコンの構造はどうなってる
んでしょう？

回答No.1

GTAC

以下はアマチュア用の電力増幅器のページですが、（１４MHｚ１ｋWクラス）ここで回路の構成や高圧バリコンの写真を見ることができます。

http://www.bear-el.com/main.html

回転軸かどうかはともかく、高周波の漏れや回り込みによって予期しない部位の焼損（アークが飛ぶ）があります。

バリコンはマッチング回路なので、プラズマ装置の運転条件によっては、設計時に想定しているVCの適正な調整範囲を越えて使っている可能性もあります。（プラズマ装置側の圧力やスパったの状態などで高周波電源から見たインピーダンスは変動しますし、プロセスの最初や最後でも運転状態は変わります。常に最適マッチング条件で運転できるような自動チューニングはついていますか？無ければ操業中にチューニングを取り直す必要があるかもしれませんが、途中で条件を変えることで電流の変動は出したくないかもしれません。

参考URL：

http://www.cqham.com/tgc/je1hpm.htm