高周波電源とプラズマ

質問

私の会社に高周波電源を用いてプラズマを発生させ、プラズマ重合というものにより薄膜を形成する装置があります。その装置にマッチングBOXなる機器があるのですがその役割をわかり易く説明してください。自分では勝手に、電線の抵抗ＲとマッチングBOX内のバリコンのリアクタンス分Xcをマッチさせて効率を良くするものだと考えています。よろしくお願いします。

回答No.4

POWERVAULT · ベストアンサー

#2です。
「インピーダンスをマッチングさせる為の箱」との事です。
そのまんまですが、役割はやはりプラズマの状態（負荷）に合わせて自動追従する様になっててコントローラーも繋がってるはず。
定常時の負荷特性が判ってるのならコントローラーなしの決め打ち（運転しながら調整）でも特に問題ないらしい。
が、電源がへたれな設計だと電源側が逝くかもしれないらしい。

無線の送信機でインピーダンスが合わないと反射波が大きくなって電力ロスが大きくなる。あまり外すと終段が加熱保護停止するとか下手すると終段が逝く。
これを改善するのと同じ役割との事。
VSWRでネット検索すれば、プラズマを負荷と見立てて役割としては理解できるかと思います。

お礼

どうもありがとうございました。なんとなくわかりました。

回答No.3

POWERVAULT

#2です。
何なのか気になって夜も眠れないというのであれば、知り合いに聞いてみますよ。
用途は知らないけど確かＲＦ電源も設計してたはず。

回答No.2

POWERVAULT

それは一般的にはスパッタ成膜という装置では。
供給電源はＤＣ，ＭＦ，ＲＦと色々ある様です。
私は詳しくは無いですが、ＲＦ故に無線機の様にインピーダンス整合が必要になるはずです。
電線のＲもあるかもしれませんが、プラズマ化してる負荷のインピーダンスも影響してる様な気がします。自信なし・・・
負荷に追従して動作する様な構造の様に思えたから。
電源としては海外製の物は見かけた事があります。
（マッチングBOXとセット）
メーカーの名前は忘れた・・・

回答No.1

486HA

呼称が「マッチングBOX」というだけでは見当がつきません。
正確な機器構成と機番を明らかにしてください。
（おそらく、公表は社内の禁止事項に抵触すると思われますが。）
企業の基幹にかかわる問題についての問い合わせは、ここではなじまないと思われます。
　また、カテゴリー違いだと思われます。
なお、「バリコンのリアクタンス」とは「バリ・コンのキャパシタンスのリアクタンス」が正確な言い方であると思われます。