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ケイ素

半導体原料の高純度ケイ素の生成法を教えてください.

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  • 12m24
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回答No.2

 あの程度の巨大な単結晶になると、砂(といっても選ばれた砂か、)を融かしつつ還元して酸素を追い出し、あらかじめ用意したシリコンの結晶を液面につけ、まわしながら徐々に引き上げていきます。  これをうまくやるには、温度管理を徹底しないとうまくいかないので、実験室レベルなら、珪素系セラミックでできたるつぼで溶かして、ゆっくり冷やしながら、結晶を作っていきます。ただ、この方法では少なからず結晶粒界ができてしまいます。

hiro-5
質問者

お礼

ありがとうございました。

その他の回答 (2)

noname#21649
noname#21649
回答No.3

ある程度純度の高い珪素からシランガスを作ります。 シランガスを熱分解させて.珪素に戻します。 戻した珪素を溶かして固めて使います。 固体状珪素の純度を上げるのに既にあるようなぞーるめるとほうを使います。

hiro-5
質問者

お礼

ありがとうございました。

回答No.1

通常、「フローティングゾーン法」が用いられるようですが、微細な結晶を作る時にはモノシランガス(SiO4)を還元して単結晶を作る場合(たとえばSiの被膜を作る時など)もあるようです。

参考URL:
http://133.242.8.15/jdata/02140/199908J02140020/image/g0214002_003.htm,http://laserion.elcom.nitech.ac.jp/~erbium/member
hiro-5
質問者

お礼

ありがとうございました。

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