Siを例に半導体の純度を高める方法

質問

Siを例に半導体の純度を高める方法を調べているのですが、
まったくわからずに困っています。

どなたかわかるかた、または載っているＨＰなどを知っている方

回答をよろしくお願い致します。

回答No.3

toagoo · ベストアンサー

また返事しておきます。
一応　材料の研究をかじってます。　問題が有るので、
あまり詳細は書けないので、一般論で書きますね。

半導体の場合のエッチングは、　ウエハー等の上の薄膜の形状加工
する技術に応用されてます。
ウエハー上に酸化膜等の薄膜を形成し　フォトレジストでパターン形成
下あとに、エッチングにより　不要部分の薄膜を除去。
エッチングの手法は　弗酸　四フッ化炭素等のガスでも行う。

マスキングは　要る場所を保護するということでよいかな？　

使う材料も、精留　吸着　ろ過　　色々な精製をして純度を上げる。
売る値段もべらぼうに高い為　手間隙が掛かるのです。

どういう回答が良いか判らないから　一般論書いておきました。
それでは。！

お礼

とてもわかりやすく解説していただきありがとうございます！！

不純物をなくすという事は大変なんですね！！

回答ありがとうございました！

回答No.2

c80s3xxx

zone melting

お礼

帯域精製法の事かな？

ゾーン精製法も参考にさせていただきます！！

回答No.1

toagoo

たとえば　シリコンウエハーの製造工程で、エッチング・マスキング
するための供給ガスの純度が９９．９９９％以上必要で、
その為にボンベ充填が、高クリンルームで無塵化で行う必要が有り。
その関連で、ある液体ボンベの出荷して帰ってきた、空容器の洗浄を
クリンルームで、溶剤と超純水使いやってました。
残留金属の分析をＩＣＰでして、スペック０．１ｐｐｂ以下。
非常に辛かった。
純度上げる為には、異物を如何に減らすかと思います。
どうでしょう？？？

お礼

本格的な回答ありがとうございます！！
研究職か現場の方でしょうか？

いろいろ難しい用語がありましたので調べつつ理解させていただきました（高等専門学校生の３年生です）が、

エッチング・マスキング　
→　精製するのに不純物を減らすための技法。
でいいんですよね？

＞純度上げる為には、異物を如何に減らすかと思います。
なるほど！

回答ありがとうございました！！！！