SEMの二次電子検出器のシンチレータについて

質問

こんにちは。
SEMについて色々と調べている者なのですが、観察試料から出てくる二次電子を検出する二次電子検出器（またはE-T検出器）のシンチレータ部前面に塗布されている蛍光物質はどんな材料なのかをご教示してもらいたく、質問させてもらいました。
幾分、ネットで色々と調べているのですがそこまで詳しく載っているサイトはなかったので、もしご存知の方がいらっしゃればと存じます。
ご教示の程、宜しくお願いします。

回答No.1

TIGANS · ベストアンサー

有名なのはZnS：Agとかだと思いますが
最近だと色々な材料が使われていると思います。
計測レート上げるには高速蛍光体が必要ですし
感度上げるなら効率高いほうがいいですね。
（多分特許化されてるので特許庁の出願検索するのが早いかと）
https://www.hamamatsu.com/jp/ja/product/optical-sensors/electron_ion-sensor/fast-decay-phosphor/index.html
http://www.chem.utsunomiya-u.ac.jp/lab/mukizai/keikou.pdf

お礼

なるほど！
ZnS:Agなどが用いられていましたか！
浜松ホトニクスのサイトでデータシートを見てみたのですが、どんな材料を扱っているかまでは記載されていませんでしたね・・・。やはり特許が絡んでいるのでしょうか？
ご回答ありがとうございました。