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HfO2の結晶軸の同定(インプレーン XRD)

X線回折測定(インプレーン)にて、ゲート絶縁膜のHfO2(ハフニウムオキサイド)を測定しました。 20deg~60deg間に大小あわせ10個くらいのピークが見られましたがそれぞれのピークの結晶方位を知りたいのですが、どこかにデータベースが公開されていないでしょうか?

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  • nzw
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回答No.1

NIMSのAtomWorkが充実しています。 登録は必要ですが、無料で利用できます。

参考URL:
http://crystdb.nims.go.jp/
tsu3cchin
質問者

お礼

しらべたところ、ここより日本結晶学会のデータベースのほうが便利であることがわかりました。  ともあれご回答ありがとうございました。

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