ＬＩＧＡで

質問

電子ビームＬＩＧＡはｘ線ＬＩＧＡに比べると、加工のアスペクト比が小さいと思うんですが、それはなぜなんでしょうか？？
電子ビームは反射され散乱するからでしょうか？？
もし、そうならその詳しいプロセスを教えてください。

回答No.1

kuniuni · ベストアンサー

LIGAプロセスとは、LIGA(Lithographie，Galvanoformung，Abformung)の略で、
X線リソグラフィと電鋳およびモールディングを組み合わせ、アスペクト比(加工幅に対する深さ(高さ)の比)の大きな形状を作る製法のことです。
電子線ビームLIGAって？？
電子線リソグラフィとか電子線描画のことを質問されているのですか？

何と何を比較した情報が必要なのでしょうか？
また、アスペクト比については、細線の幅にも依存しますので、そのあたりもう少し質問に補足お願いします。