ベストアンサー 反射電子防止板を効率よく製造するには？ 2007/05/24 17:12 半導体製造過程でリソグラフィする際に電子ビームから発生する反射電子が画質を低下させると聞きました。その反射電子をどのようにして防止するのか？どういう材料、仕様か教えてください。 みんなの回答 （1） 専門家の回答 質問者が選んだベストアンサー ベストアンサー endlessriver ベストアンサー率31% (218/696) 2007/05/26 16:46 回答No.1 昔、苦労した懐かしい現象です。 当然、分野は異なりますが二次電子放出を抑制するにキーワードは 炭素でした。実用的にはタンタルカーバイトの粉末を部品に焼結 させていたのですが手間暇かかります。 最後はパイロリテックグラファィト形成体を試作しましたがこれからは 全く何もでず、ンンン？？？？。よく調べるとわずかに流れているのは 測定が交流だったので測定リード線が絡まっていたキャパシタの電流で した（ボーゼン自失）。 パイロリテックグラファィトでは何も検索されませんでしたが炭化水素 中に形成鋳型を高熱にして高純度炭化物を集積させたものだったと 記憶しています。 残念ながら時代の革新には間に合わず製品自体が無くなり日の目は見 ませんでした。 質問者 お礼 2007/06/07 20:13 ありがとうございました。とても参考になりました。今後の研究に役だてます。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 学問・教育自然科学科学 関連するQ&A 半導体の製造 半導体の製造過程において、回路の微細化に伴いリソグラフィのための露光光源が短波長化されてきたのはなぜですか？教えてください！ 半導体の製造過程で出る廃棄物 太陽光発電が環境に優しいエネルギーとして注目を集めているようです。が以前、太陽光発電に使う半導体は、製造過程や洗浄過程で有害な廃棄物を大量に出すので、こうしたこともトータルで考えると必ずしも環境に優しいとは限らない、という話を聞いたことがあります。 確かに半導体の製造過程は化学工業そのものですから、なんらかの化学廃棄物が出てもおかしくありませんが、どんな物質がどれくらい出るのでしょうか。またそれらはどのように処理されている、あるいは処理する計画でいるのでしょうか。 それと、太陽光発電を環境に優しいエネルギーと評価する際には、こうしたことはどれくらい考慮されているのでしょうか。 半導体製造装置の部品の「再生」とは 半導体製造装置の文献を勉強しているのですが、半導体製造装置の部品を洗浄して「再生」(regeneration)するとか、半導体製造工程の材料(シリコンのインゴットなどのこと？)を「再生」(regeneration)するという言葉が出てきます。 この場合の「再生」(regeneration)とは、どういう意味でしょうか？ 天文学のお話。日本ではどのように考えられていた？ OKWAVE コラム 半導体製造ラインのノイズ対策について 半導体製造装置ではプラズマＣＶＤやエッチャー装置など、ウェハーに電子粒子を当てて回路形成していくと聞きましたが、そのような装置ではノイズは発生しないのでしょうか？また、中性子までは飛ばないでしょうが何らかの放射線が出ていそうに思えます。実はこの半導体装置の近くで使用している機器が誤動作して困っています。どなたか情報アドバイスお持ちの方がいらっしゃいましたらお願いいたします。 自由電子モデルについて 大学の講義で自由電子モデルというのをならったのですが、自由電子モデルというには、どのような仮定条件のもとで電子の状態を解析するのですか？？初歩的な質問ですみません。 また、自由電子モデルは金属材料では適用できるけど、半導体やその他の材料では適用できませんよね？その理由も教えていただきたいです。 半導体製造装置の代理店 ビジネスカテで質問しましたがカテを変えて質問させていただきます。 輸入電子部品の営業をしております。お客さん（半導体製造装置のメーカ）と「ウチは輸出は代理店にお願いしてるんだ、おたくにも売ってもらえるかな」といった感じの話題になりました（ほとんど冗談です）。 半導体製造装置は単価も高く、設置や運転の僅かなノウハウが歩留まりに大きく影響し、また秘匿する範囲の広い業界と聞いております。商社が介在するのは難しいと思っていましたがどうなんでしょう、また最近では中古の半導体製造装置を扱う業者もあるとか、必ずしも技術スタッフが備わった大商社ばかりでもないようです。 製造装置を扱う商社は通常の電子部品、機械類と比較してどのようなことが特徴なのでしょうか？技術的なサポートはメーカーまかせ？ご存知の方がいればお願いします。 LEDの発光原理について 現在LEDのことについて調べております。 その過程の中で疑問点が発生したので質問致します。 N型半導体は伝導電子を多く持ち、これがP型半導体の正孔と結合することで発光するということは理解できます。 その際電圧をNに負、Pに正をかける必要があると思うのですが、このときP型半導体に移動していく電子はN型半導体に当初からある伝導電子なのでしょうか。 私はそのように解釈していたのですが、このことを説明したとあるサイトで電源から電子が供給されるとあったので疑問に思っています。 個人的にはマイナスの電圧に反発した伝導電子がP型半導体の方に移動すると考えていたので混乱中です。 加えて私の考えが正しいとすると、伝導電子が全て結合して消滅したらLEDは発光しなくなるのでしょうか。 どうかご回答をお願いいたします。 日本の半導体製造用材料メーカーについて 今般日本から韓国向け半導体製造用材料、フッ化水素、フッ化ポリイミド、レジストの輸出規制が話題となってます。 上記の材料に関して、日本メーカーのどの様な匠の技が世界をリードしてるのでしょうか？韓国含め半導体生産諸外国が日本の出荷する材料メーカーにどの様な期待をかけて購入してるのでしょうか？素人ながら一度この事をお聞かせ願いたく思います。 材料なら外国でもあると思いますが。 以上 宜しくご教授ください。 半導体製造工程で500℃近い熱がかかる工程とは? 半導体製造工程で500℃近い熱がかかる工程とは? 半導体素子を作る際、500℃近い熱がかかる工程があると聞いたのですが、 どの工程でしょうか? 私の知っている限り、半導体製造工程は、 レジスト塗布→露光→エッチング→イオン注入→平坦化→電極形成 です。 よろしくお願いします。 半導体製造設備で 半導体製造設備で人がケガをするケースというのはどういうものがあるのでしょうか？お恥かしながら私自身は半導体業界についてあまり知らないのですが、同設備に起因して発生し得るＰＬクレームリスクについて調べております。もし現場でのご経験がある方や、半導体製造設備の関連業務でご存知の方がいらっしゃればお願いします。漏出したガスで中毒になるetc、ケガでなくても結構です。具体的な事故例だけでなく、「こんな危険性はあるよ」「こういうのが怖いからこういう教育や研修が実施されているよ」とかとか。何でも結構ですので宜しくお願い致します。 また、人体に限らず、第三者の所有物を壊してしまうなどの危険性も併せてご教示頂ければ幸いです。 半導体の製造で、日本が韓国に負けている理由 韓国をホワイト国からはずすことで、韓国は大騒ぎしています。 疑問なのは、日本の半導体製造は負けているみたいですが、これだけ材料や加工、後工程で日本が主導権を握っているのに、なぜ韓国のサムスンとかに負けているんでしょうか？ 電子管のグリッド設計計算について教えてください。 ＰＬＡＮＥＴです。 半導体回路は自信があるのですが、私自信も真空管時代から育ちましたのに真空管の設計はやったことがありません。 学生時代に習った記憶すらありません。 小型の電子銃をつくる必要があり熱電子の量や加速電位計算はわかったのですがビームを収束させたり広げたりするグリッドの計算方法がわかりません。 どなたかこれらについて必要な書籍か設計のできる方はお見えでしょうか。 ギブアップしています。 偏向は磁気偏向でビームスキャンを行おうと思います。 日本史の転換点？：赤穂浪士、池田屋事件、禁門の変に見る武士の忠義と正義 OKWAVE コラム ＳＵＳ３０４とＳＵＳ３１６の焼付き防止の表面処理… ＳＵＳ３０４とＳＵＳ３１６の焼付き防止の表面処理について 半導体・液晶用の製造装置メーカです。Ｍ７６でピッチ２のネジの焼付きが多発して困っております。このような業界で使用し、純水等が触れる可能性があるため、グリス等は使用できません。表面処理で解決したいのですが、良い表面処理はありませんでしょうか？ インクジェットプリンタヘッドのノズル径の限界 インクジェットプリンタのヘッドノズルは、半導体製造プロセスと同様のリソグラフィで作るそうですが、やはり現状の技術で作成可能な最小のノズル径も、半導体プロセスと同じくらい（数十nm程度）なのでしょうか？ 現在のノズル径は、印刷速度との兼ね合いを考えて20μm程度に抑えてあるそうですが、もし印刷速度を一切無視して、解像度を上げることのみを意識したら、どれくらいまで径を細められるのかが知りたいです。 半導体について教えてください。 電気電子材料の本を読んだのですが、半導体の導電性の制御について調べてるのですが、どのようなものがあるのですか？ 半導体材料の熱平衡状態 あるn形半導体材料の熱平衡状態における多数キャリア密度nと、 少数キャリア密度pとの比が、n/p=10~8であるとします。 このn形半導体材料の多数キャリア密度nは、同じ材料が真正半導体として機能する場合のキャリア電子密度niの何倍であるか計算できません。 どなたか教えてください。 さらに、このn形半導体の導電率σnは、同じ材料が真正半導体として機能する場合の伝導体σiの何倍になるかを計算できません。 しかし、電子の移動度μeとホールの移動度μhとして等しいものとしｍ これをμとして計算しなくてはいけません・・・ HOMO・LUMOと価電子帯・伝導帯について 半導体工学を専門としているものです。 自分は無機材料を専門としていて、有機については余り知りません。 最近、有機エレクトロニクスの話をよく耳にし、 HOMO, LUMOバンドという言葉が出てきます。 調べてみたところ、 HOMO…電子が占有する最高エネルギー準位 LUMO…電子が占有しない最低エネルギー準位 ということでした。 さらに光デバイスでは、HOMO-LUMOのエネルギーに対応した 光を出すようです。 そこで質問は、HOMOバンド=価電子帯、LUMOバンド=伝導帯、 と単純に置き換えて考えて宜しいのでしょうか。 多数の有機分子が集まったときにHOMO, LUMO準位が分裂し、 バンドを形成するあたりも、半導体と良く似ているように思えます。 どこが違うものなのか、教えていただけると嬉しいです。 なんだか良く分からなくていつもスッキリしません。 お願いします。 製造業＋販売業の場合の帳簿の付け方 オリジナルの雑貨を製作し、それをネットで販売しています。 従業員は３人で、材料の調達から製造、販売、商品の一般のお客さんへの出荷まですべて自社で行っています。業者さんにまとまった数量を日数をかけて製造し、販売することはありません。 帳簿をつける際、普通は製造業は工業簿記で帳簿をつけるものであると思いますが、わたしの会社では１商品の製作に３０分程度の時間で完成してしまい、１日の業務終了時に仕掛品というものはほとんど発生しません。 原材料を仕入れた際に、 材料費 ／ 現金 という仕訳を行い、次に商品を販売した際に 普通預金／売上高 という仕訳を行って、 期末には残った材料と商品を棚卸し資産として計上するだけでよいのでしょうか？ 簿記の書籍などを見ても、工業簿記は仕掛品とか細かい仕訳が発生するようですが、 自社のような小さいサイクルで完結してしまうような場合でも細かい帳簿付けが必要でしょうか？ 半導体工場の汚泥処理について 半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥（特にフッ素汚泥、有機汚泥）について処理方法をどうしているのか教えて下さい。 純金を原材料とした製品を製造しています。 純金を原材料とした製品を製造しています。 常にある一定の純金の在庫があり、決算の際に時価評価しているのですが、 金相場の変動による損益が、本業の損益を飲み込んでしまうことが多々あります。 製造工程の都合上、金の在庫が一定以上減ることはありません。 この減ることのない純金を、原材料としてではなく、 製造工程内の純金製の設備（治具）のようなものと解釈し、 固定資産に計上することはできないでしょうか？ もし出来るなら、時価評価する原材料が減るため、 本来の事業による損益が見やすくなるというメリットがあるように思えます。 逆に何かデメリットは発生するものでしょうか？ 注目のQ&A 「You」や「I」が入った曲といえば？ Part2 結婚について考えていない大学生の彼氏について 関東の方に聞きたいです 大阪万博について 駅の清涼飲料水自販機 不倫の慰謝料の請求について 新型コロナウイルスがもたらした功績について教えて 旧姓を使う理由。 回復メディアの保存方法 好きな人を諦める方法 小諸市（長野県）在住でスキーやスノボをする方の用具 カテゴリ 学問・教育 自然科学 理科（小学校・中学校）化学物理学科学生物学地学天文学・宇宙科学環境学・生態学その他（自然科学） カテゴリ一覧を見る OKWAVE コラム 突然のトラブル？プリンター・メール・LINE編 携帯料金を賢く見直す！格安SIMと端末選びのポイントは？ 友達って必要？友情って何だろう 大震災時の現実とは？私たちができる備え 「結婚相談所は恥ずかしい」は時代遅れ！負け組の誤解と出会いの掴み方 あなたにピッタリな商品が見つかる！ OKWAVE セレクト コスメ化粧品 化粧水・クレンジングなど 健康食品・サプリ コンブチャなど バス用品 入浴剤・アミノ酸シャンプーなど スマホアプリ マッチングアプリなど ヘアケア 白髪染めヘアカラーなど インターネット回線 プロバイダ、光回線など
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ありがとうございました。とても参考になりました。今後の研究に役だてます。