反射電子防止板を効率よく製造するには？

質問

半導体製造過程でリソグラフィする際に電子ビームから発生する反射電子が画質を低下させると聞きました。その反射電子をどのようにして防止するのか？どういう材料、仕様か教えてください。

回答No.1

endlessriver · ベストアンサー

昔、苦労した懐かしい現象です。
当然、分野は異なりますが二次電子放出を抑制するにキーワードは
炭素でした。実用的にはタンタルカーバイトの粉末を部品に焼結
させていたのですが手間暇かかります。

最後はパイロリテックグラファィト形成体を試作しましたがこれからは
全く何もでず、ンンン？？？？。よく調べるとわずかに流れているのは
測定が交流だったので測定リード線が絡まっていたキャパシタの電流で
した（ボーゼン自失）。

パイロリテックグラファィトでは何も検索されませんでしたが炭化水素
中に形成鋳型を高熱にして高純度炭化物を集積させたものだったと
記憶しています。

残念ながら時代の革新には間に合わず製品自体が無くなり日の目は見
ませんでした。

お礼

ありがとうございました。とても参考になりました。今後の研究に役だてます。